詞條
詞條說明
在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此,檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時,晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而
femtum超連續(xù)譜光源的優(yōu)勢表現(xiàn)和運用
femtum超連續(xù)譜光源通常是一種脈沖激光(納秒、皮秒或飛秒級),它被轉(zhuǎn)換成具有非常寬光譜的光信號,如圖1所示。與燈、LED甚至太陽等標(biāo)準(zhǔn)照明寬帶光源相比,超連續(xù)光源具有激光器最大的固有優(yōu)勢之一:它們具有方向性,在某些情況下還具有相干性。因此,這種類型的激光器可以在光纖中有效地注入和引導(dǎo),進行遠距離準(zhǔn)直,甚至聚焦在一個非常小的光斑內(nèi),與其他寬帶光源相比,這大大提高了它們的亮度。圖1:具有水(H2O
近幾年,利用高功率短脈沖準(zhǔn)直激光干涉圖像系統(tǒng)(DLIP)來重塑表面的結(jié)構(gòu),這一方面越來越受到人們的關(guān)注。由于使用Holoor的高功率衍射光學(xué)元件(DOE)應(yīng)用在DLIP系統(tǒng)中的客戶比較多,我們覺得非常有必要為該領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)的技術(shù)支持,并推出了DLIP光學(xué)系統(tǒng)的Zemax OpticStudio設(shè)計文件,并共享給有需要的客戶。在Zemax軟件中,能夠模擬光束的基本性能和公差,還可以自定義的輸入
Optotune散斑衰減器LSR選型非常的簡單,總共就兩個型號,SR-4C-L-18x18-9-T2-VIS和LSR-4C-L-18x18-9-T2-NC,這兩個型號的參數(shù)一樣,區(qū)別只是一個鍍膜和另外一個不鍍膜。此外還有一些配置可供客戶選擇,第一個配置是5V DC、USB電源插頭,另外一個配置是散斑衰減器LSR擴散器的支架,這兩個配置客戶可以按照自己的需求來買。如果客戶有符合的電源插頭可以不必要多
公司名: 深圳維爾克斯光電有限公司
聯(lián)系人: 劉先生
電 話: 0755-84870203
手 機: 18926463275
微 信: 18926463275
地 址: 廣東深圳龍崗區(qū)龍崗區(qū)平湖街道華南城1號館
郵 編:
網(wǎng) 址: welloptics.cn.b2b168.com
公司名: 深圳維爾克斯光電有限公司
聯(lián)系人: 劉先生
手 機: 18926463275
電 話: 0755-84870203
地 址: 廣東深圳龍崗區(qū)龍崗區(qū)平湖街道華南城1號館
郵 編:
網(wǎng) 址: welloptics.cn.b2b168.com