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  • 詞條

    詞條說明

  • 線激光元件被用于晶圓檢測

    在半導體行業中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產量并耗費生產的時間和成本。因此,檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要,這是在半導體計量行業許多客戶面臨的挑戰。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當線沿徑向掃描時,晶圓旋轉,產生晶圓的大面積采樣,從而

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    ALPAO 發布了一款新的可變形反射鏡,以完善其自適應光學產品系列。這種新產品旨在適應工業應用:使自適應光學更簡單、更便宜。ALPAO設計制造的全新產品是模態變形鏡(DMM)。它允許前所未有地使用自適應光學?(AO)!它以大振幅和高精度提供最常見的光學像差的出色校正。ALPAO DMM對最常見的光學像差提供了出色的校正。具有?7?或?8?個控制通道

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