化工循環水冷凍機常見的故障與維修

時間：2022-11-09作者：無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司瀏覽：116

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  詞條說明

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  在芯片制造過程中，淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller作為一種關鍵設備，發揮著一定作用。本文將對芯片制造工藝中的淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller進行詳細介紹。 一、淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller的作用 淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller在芯片制造工藝中主要起到冷卻作用。在芯片制造過程中，各種設備產生的熱量較高，如光刻機、刻蝕機等，如果熱量控制不當，將會影響芯片的制造質量和效率。淺溝道

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