磁控濺射鍍膜設備工作原理

時間：2022-05-21作者：廣東振華科技股份有限公司廣東廣州分公司瀏覽：228

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• 詞條

  詞條說明

• 真空鍍膜設備的環境要求

  ? ? ? ? ? 由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作，因此該設備要滿足真空對環境的要求。我國制減定的各類真空鍍膜設備的行業標準(包括真空鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空鍍膜設備對環境的要求，才能使該設備正常運轉，加上正確的鍍膜工藝，方能生產出合格的鍍膜產品。真空對

• 多弧離子真空鍍膜技術特點

  離子鍍的原理：離子鍍是在真空室中，利用氣體放電或被蒸發物質部分離化，在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時，將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者**結合起來， 不僅能明顯地改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍。其優點是薄膜 附著力 強，繞射性好，膜材廣泛等。多弧離子鍍工藝的**特點是我們可以通過產生由高度電離的蒸發物質文化組成的等離子體，其中離子之間

• 何時對零件執行真空浸漬

  是否應該在完成之前或之后進行真空浸漬？粉末涂料，油漆，鉻酸鹽轉化和陽極氧化是壓鑄零件的常用表面處理，可改善其性能或外觀。在某些壓鑄應用中，組件還必須密封以容納加壓的流體或氣體。公司使用真空浸漬法通過密封內部泄漏通道而不會影響鑄件的任何其他特征來滿足這些要求。一般規則是，在任何表面拋光之前都應進行真空浸漬。這將密封孔隙并消除可能因除氣，化學相容性或預處理滲出而導致的任何失效模式。以下是在涂飾后進行浸

• 影響磁控濺射中靶中毒的因素有哪些？

  一、靶面金屬化合物的形成由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中，化合物是在哪里形成的呢？由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產生化學反應生成化合物原子，通常是放熱反應，反應生成熱必須有傳導出去的途徑，否則該化學反應無法繼續進行。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導，所以化學反應必須在一個固體表面進行。反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結構表面進行。在基片表面生成化合物是我們的目的，在其