等離子清洗機(jī)去除光學(xué)元件污染物

時(shí)間：2022-03-30作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：284

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)用于IC封裝工藝

  等離子清洗機(jī)解決封裝工藝中鍵合等問(wèn)題，等離子體清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于PBGAS及倒裝晶片過(guò)程中和其它基于聚合物的襯底，以利于粘結(jié)，減少分層?等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處

• 等離子清洗機(jī)，改性活化處理，改善水滴角

  等離子清洗機(jī)，表面改性活化處理，增加表面能，改善水滴角集成電路引線支架、PCB板盲孔內(nèi)鉆污、鋰電池隔膜、電子連接器、音箱配件、特氟龍PTFE料、塑料配件、高分子薄膜、馬達(dá)電機(jī)配件、LCD的ARRAY(玻璃加工)、LCD的CF(玻璃加工)、鋁箔、銀膜、汽車點(diǎn)火線圈、指紋模組、攝像頭模組、耳機(jī)振膜、手機(jī)中框、ITO玻璃、藍(lán)寶石襯底等離子清洗改性除靜電。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cl

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• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會(huì)涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長(zhǎng)或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清