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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【工業(yè)真空泵】 XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號(hào)普通機(jī)械油)到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空泵更換排氣過
真空泵不能啟動(dòng):主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎摹T谂懦娐凡糠值墓收虾螅瑧?yīng)考慮以下兩個(gè)因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線圈
真空泵溫度高的原因,真空泵電機(jī)溫度高的原因?以下是對(duì)真空泵電機(jī)溫度高的原因分析:?1原因分析?(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。?(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。?(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。?(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。?(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際
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