等離子清洗機(jī)，去除Wafer晶圓光刻膠

時(shí)間：2022-04-07作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：346

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于電子FPC行業(yè)

  等離子清洗機(jī)表面活化，如果材料粘接表面出現(xiàn)粘合不牢固，無法粘合的情況，在應(yīng)用粘合劑之前使用等離子體清洗機(jī)表面處理預(yù)處理來實(shí)現(xiàn)。經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后的材料，能夠使用迅速固化粘合劑，幾分鐘內(nèi)即可完成結(jié)構(gòu)粘合。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清

• 等離子清洗機(jī)處理動(dòng)力電池組

  等離子處理機(jī)不僅可以開展表面清洗，關(guān)鍵的是可以提升表面活力，等離子與物件表面開展化學(xué)變化可以造成活力，運(yùn)用范疇很廣，例如提升原材料表面粘合能力，提升電焊焊接能力，邦定性，吸水性這些許多層面。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)培養(yǎng)皿親水性能

  等離子清洗機(jī)能改善材料的表面特性，如表面粗糙化、表面清潔、表面化學(xué)基團(tuán)引入和表面親水性調(diào)變等。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會(huì)涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清