靶材的主要性能要求:
- 時間：2017-05-16作者：寶雞市盛華有色金屬材料加工有限公司瀏覽：65
寶雞市盛華有色金屬材料加工有限公司專注于鍍膜靶材,鈦靶,鉻靶,靶,鉬靶,鉬重錘等
詞條
詞條說明
性能要求 1 純度： 純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業的迅速發展，硅片尺寸由6", 8"發展到12", 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99
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